序號 | 檢驗方法 | 適用參數及
范圍（μm） | 說明 |
1 | 樣塊
比較法 | 直接目測：
Ra>2.5；
用放大鏡：
Ra >
0.32～0.5； | 以表面粗糙度比較樣塊工作面上的粗糙度為標準，用視覺法或觸覺法與被測表面進行比較，以判定被測表面是否符合規定；
用樣塊進行比較檢驗時，樣塊和被測表面的材質、加工方法應盡可能一致；
樣塊比較法簡單易行，適合在生產現場使用 |
2 | 顯微鏡
比較法 | Ra <0.32 | 將被測表面與表面粗糙度比較樣塊靠近在一起，用比較顯微鏡觀察兩者被放大的表面，以樣塊工作面上的粗糙度為標準，觀察比較被測表面是否達到相應樣塊的表面粗糙度；從而判定被測表面粗糙度是否符合規定。此方法不能測出粗糙度參數值 |
3 | 電動
輪廓儀
比較法 | Ra ：
0.025～6.3
Rz：
0.1～25 | 電動輪廓儀系觸針式儀器。測量時儀器觸針**在被測表面上垂直于加工紋理方向的截面上，做水平移動測量，從指示儀表直接得出一個測量行程Ra值。這是Ra值測量*常用的方法。或者用儀器的記錄裝置，描繪粗糙度輪廓曲線的放大圖，再計算Ra或Rz值。此類儀器適用在計量室。但便攜式電動輪廓儀可在生產現場使用 |
4 | 光切
顯微鏡
測量法 | Rz：
0.8～100 | 光切顯微鏡(雙管顯微鏡)是利用光切原理測量表面粗糙度的方法。從目鏡觀察表面粗糙度輪廓圖像，用測微裝置測量Rz值和Ry值。也可通過測量描繪出輪廓圖像，再計算Ra值，因其方法較繁而不常用。必要時可將粗糙度輪廓圖像拍照下來評定。光切顯微鏡適用于計量室 |
5 | 干涉
顯微鏡
測量法 | Rz：
0.032～0.8 | 干涉顯微鏡是利用光波干涉原理，以光波波長為基準來測量表面粗糙度的。被測表面有一定的粗糙度就呈現出凸凹不平的峰谷狀干涉條紋，通過目鏡觀察、利用測微裝置測量這些干涉條紋的數目和峰谷的彎曲程度，即可計算出表面粗糙度的Ra值。必要時還可將干涉條紋的峰谷拍照下來評定。干涉法適用于精密加工的表面粗糙度測量。適合在計量室使用 |
